技術(shù)參數(shù)

Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr（C）、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2

Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr（c）、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、P△q

傳感器

測量原理

電感式

測量范圍

400μm

針尖半徑

5μm

針尖材料

金剛石

觸針測力

4mN

觸針角度

90°

導(dǎo)頭縱向半徑

45mm

大驅(qū)動行程

19mm

量程和分辨力

量程

分辨力

±25μm

0.001μm

±200μm

0.008μm

濾波方式

GAUSS、2RC、ISO13565

取樣長度

0.25mm、0.8mm、2.5mm、自動

評定長度

1L～5L（可選，L為取樣長度）

示值誤差

±10%

示值重復(fù)性

≤6%

工作環(huán)境

溫度：0ºC～40ºC

相對濕度：＜90%RH

外型尺寸及重量

主機：155.4mm×75mm×53mm，約580g；

驅(qū)動器：120.5mm×25.5mm×28.5mm，約165g

電源

內(nèi)置電池：鋰離子充電電池；

電源適配器：輸入：100V240VAC，50/60Hz；

輸出：9V，3A。